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20nm 台式X射线源 脉宽 7 ns

简要描述:20nm 台式X射线源 脉宽 7 ns是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。

  • 产品型号:EUV-B-XRAY
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-08-08
  • 访  问  量:532

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组成要素自由电子激光器产地类别进口
应用领域化工,建材,电子

激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。

 产品特点

● 低残留

● 高EUV能量(3.5 MJ)

● 低耗气量(气体脉冲持续时间:<1 ms)

● 简单目标气体交换

● 桌面系统

产品应用

计量:反射测量、吸收

光谱学(nexafs)

光学/传感器测试

EUV损坏调查

材料相互作用基础研究

水窗显微镜(λ=2..4纳米)


技术参数

参数

单位

指标

产品编号


EUV-B-XRAY

工作波长

nm

20nm

脉宽

ns

7

脉冲能量(Xe

mJ

3.5(4π sr, 2% BW)

转换效率

%

0.45

等离子形状

NA

Ø ~ 300 µm

重复频率

HZ

10


测试数据展示:

tc.pngtc_副本.png


tc1.png


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